①原理和使用范圍真空球閥是20世紀(jì)90年代研制的一種真空閥門。它的工作原理類似于真空蝶閥，是靠固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的球體旋轉(zhuǎn)90°實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。真空球閥比真空蝶閥開閉速度快，而體積和漏率都較真空蝶閥大。由于其結(jié)構(gòu)中閥體、閥桿 為不銹鋼，閥座、填料等密封材料均為聚四氟乙烯， 因而適用于介質(zhì)為空氣、水、蒸汽、酸、堿等。介質(zhì) 溫度范圍為一25?120°C,適用于工作壓力為IX 10-3?1.6X106Pa真空系統(tǒng)和壓力系統(tǒng)中接通或切斷帶有酸,、堿性的氣體及液體的介質(zhì)流。

②形式和性能參數(shù)真空球閥有手動(dòng)、電動(dòng)和 氣動(dòng)三種形式。

a.我國生產(chǎn)的真空球閥系列有手動(dòng)（GU型）、 氣動(dòng)（GUQ型）和電動(dòng)（GUD型）三種。

b.我國生產(chǎn)的真空壓力球閥有氣動(dòng)（G型） 和電動(dòng)（GQD型）兩種。這兩種真空壓力球閥的技術(shù)性能參數(shù)為：漏氣速率小于或等于1. 3 X 10-4 Pa • L/s；使用壓力范圍10-4?1.6MPa;工作溫度為 —30?150°C;閥體和球體材料為316L;密封件材料為增強(qiáng)聚四氟乙烯、氟橡膠；釆用1/4旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)（或電動(dòng)）執(zhí)行器，工作平穩(wěn)，閥門開和關(guān)有電信號(hào)輸出。

， 這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于省去了閥體與閥蓋之間的一道密封，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，但是波紋管組件的不可拆卸也給閥門的現(xiàn)場(chǎng)維修造成一定的困難，當(dāng)波紋管損壞時(shí)，常常造成整個(gè)閥門報(bào)廢。

b.波紋管組件可拆卸真空截止閥“它與之前一種結(jié)構(gòu)相比，主要區(qū)別在閥體與閥蓋之間增加了一個(gè)閥蓋接頭，因而波紋管下端可以直接滾焊在接頭上. 不再與閥體相焊接。當(dāng)波紋管或密封面損壞時(shí)，就可進(jìn)行單件維修而不需要報(bào)廢整個(gè)閥門。但是，增加閥蓋接頭也帶來另一方面的問題，即產(chǎn)生了閥蓋接頭與閥體之間的密封問題。

上述兩種真空截止閥由于受到波紋管組件結(jié)構(gòu)性能的限制，都不能使用于高真空系列。實(shí)際上，如果波紋管組件設(shè)計(jì)得當(dāng)，閥門的使用范圍就可擴(kuò)大。國內(nèi)外許多閥門廠家都在向這一方向努力，取得很好的研究成果并能滿足高真空的要求。該組件中的波紋管 上、下端都與上、下接頭相連，并用氬弧焊焊接。這既可提高閥門的使用溫度，也可提高閥的氣密性。該組件的特色在于它的下接頭，它是一只圓環(huán)，能與外側(cè)的壓環(huán)相焊，組成多種用途的體蓋密封結(jié)構(gòu)。

②內(nèi)壓式不銹鋼波紋管真空截止閥

a.內(nèi)壓式超高真空截止閥。以lCrl8Ni9Ti為主要材質(zhì)，以金（Au）作為法蘭連接處的密封襯墊，主要用于 lX10—10Torr （ITorr == 133. 322Pa）的超高真空系統(tǒng)中，并具有良好的耐腐蝕性能。閥門的總漏氣速率小于Kr1C）T0rr • L/s，關(guān)閉后，密封面任何一邊暴 露于大氣時(shí)，靜止漏率均可小于lXl（T1GT0rr • L/s, 在450°C的高溫烘烤溫度下，漏率仍不超過這個(gè)指標(biāo)。該閥的閥桿波紋管組件如圖22-10所示，波紋管4兩端分別與內(nèi)、外襯環(huán)6和3采用氬弧焊焊接，上端的外襯環(huán)3與閥蓋1焊接，下端的內(nèi)襯環(huán)6與閥桿2焊接，波紋管的外表面暴露于真空系統(tǒng)，內(nèi)表面與大氣相通，因而，波紋管組件承受內(nèi)壓作用。組件制成后，應(yīng)按對(duì)閥體的同樣要求，通過氦氣探漏。

（7）不銹鋼波紋管真空截止閥

①外壓式不銹鋼波紋管真空截止閥外壓式是指波紋管內(nèi)腔壓力低于外腔壓力的閥門結(jié)構(gòu)類型。這類閥門根據(jù)波紋管組件的裝配情況可分為兩種。

a.波紋管組件不可拆卸的真空截止閥。波紋管上端與閥針相接，下端與閥體相接。由于真空度低， 工作溫度也不高，通常可采用滾焊方式連接。閥門的啟閉是借助閥蓋與閥針的螺紋螺距差來完的。為了防止波紋管扭曲，在閥針與閥蓋之間裝有防扭螺釘管是一種薄壁元件，單層壁厚通常不超過o. 25mm，zui 薄的只有0.10_，是整個(gè)閥門中zui為薄弱的環(huán)節(jié)。波紋管密封雖然具有很好的密封性能，但是波紋管在成形過程中的壁厚不均勻性、蝕點(diǎn)以及在閥門制造過程中的微小焊接缺陷等一系列因素都有可能在運(yùn)行過程中使之產(chǎn)生破裂事故。因此，在危險(xiǎn)性很大的應(yīng)用場(chǎng)合，往往采用波紋管-填料雙密封結(jié)構(gòu)，即用波紋管作為*道密封，填料作為第二道密封，以進(jìn)一步提高閥門密封的可靠程度。目前，這種結(jié)構(gòu)在核工業(yè)、化學(xué)工業(yè)等部門中已經(jīng)被廣泛采用。這種閥在結(jié)構(gòu)上的另一個(gè)特點(diǎn)是將閥桿傳動(dòng)螺紋置于填料密封的保護(hù)下，從而有效地改善了傳動(dòng)螺紋的工作條件，并給更換填料提供了方便。